تم تصميم أفران الغلاف الجوي الخامل، والتي تسمى أيضًا الأفران اللاهوائية، للمعالجة الحرارية باستخدام الغازات غير المؤكسدة مثل النيتروجين في بيئة مانعة للتسرب، وهي مناسبة للمعالجة الحرارية في جو منخفض تركيز الأكسجين.
وصف
يتم استخدام سلسلة Inert Atmosphere Oven في تصنيع أشباه الموصلات للخبز المعالج مسبقًا لرقائق السيليكون، وزرنيخيد الغاليوم، ونيوبات الليثيوم، والزجاج قبل طلاء PR، وخبز الأفلام الصلبة بعد طلاء PR، والخبز بدرجة حرارة عالية بعد التطوير؛ كما أنها مناسبة لأقسام الإنتاج والبحث العلمي، مثل شاشات الكريستال السائل الإلكترونية، وشاشات الكريستال السائل، وCMOS، وIS والمختبرات؛ ويمكن استخدامه أيضًا للتجفيف والمعالجة الحرارية والشيخوخة وغيرها من اختبارات درجات الحرارة العالية للمواد غير المتطايرة وغير القابلة للاشتعال وغير المتفجرة.
المعلمات الرئيسية
► المعلمات التقنية
القدرة: مخصصة حسب المنتجات
نطاق درجة الحرارة: المحيطة +50 درجة مئوية ~ 250 درجة مئوية
محتوى الأكسجين: ≥50 جزء في المليون
توحيد درجة الحرارة: ±2.5%
معدل الصعود: يمكن السيطرة عليه
مدخل النيتروجين: Φ8
تدفق النيتروجين: 0-240 لتر/دقيقة * قناتين
►الهيكل
. الفرن الداخلي: مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ وغير ملحوم بغاز الأرجون.
. محكمة الغلق: الغرفة مغلقة لتقليل مستويات الأكسجين.
. هيكل مدخل الهواء: يسمح للغازات غير المؤكسدة بملء الغرفة.
. محلل O2: ضبط مستويات الأكسجين بدقة بين 0.5 ~ 21%
► نظام التحكم في درجة الحرارة
جهاز التحكم الذكي في درجة الحرارة JAPAN RKC، وإعداد البرامج وقيمة الإصلاح، والضبط التلقائي عند التشغيل، وتصحيح الإزاحة، والاحتفاظ بإيقاف التشغيل.
► الحمل الحراري للهواء القسري
يمكن لقناة الهواء الحاصلة على براءة اختراع في نظام تدوير الهواء الساخن ضبط درجة الحرارة الموحدة تلقائيًا.
ميزات الأفران اللاهوائية (الخاملة).
► استوديو من الفولاذ المقاوم للصدأ محكم الغلق لمنع دخول الجو الخارجي
► استخدم غاز النيتروجين الخامل للمعالجة الحرارية اللاهوائية
► تم تجهيز مقياس التدفق ومقياس الضغط
► أجهزة أمان متعددة الحماية
خيارات
► وحدة تحكم قابلة للبرمجة PLC+7 بوصة
► إنذار ضوء وامض ثلاثي الألوان
► محدد لدرجة الحرارة الزائدة
► أجهزة السلامة اليدوية
لماذا تختار أفران الجو الخامل؟
في الوقت الحاضر، تحولت مواد الأسلاك في الدوائر من الألومنيوم إلى النحاس بمقاومة أقل. لذلك، عند المعالجة الحرارية في فرن تجفيف عادي، يمكن أن تتأكسد الأجزاء النحاسية، مما يسبب عيوبًا. بالإضافة إلى ذلك، يتم أيضًا إجراء تقادم بمقدار 250 درجة مئوية للتحقق مما إذا كانت البيانات المكتوبة على ذاكرة الفلاش قد تم حذفها بسبب الهجرة الكهربائية، وما إذا كانت أجزاء النتوء مؤكسدة، لذلك يجب تقليل محتوى الأكسجين إلى <100 جزء في المليون. وقد تم تطوير هذا الفرن اللاهوائي لتلبية هذه المتطلبات.
طلب
تستخدم أفران الغلاف الجوي الخامل بشكل أساسي في غراء BPO/غراء PI/علاج غراء BCB، IC (الرقاقة، CMOS، الارتطام، TSV، MENS)، FPD، المكونات الإلكترونية عالية الدقة وغيرها من المواد في بيئة منخفضة الأكسجين لاختبارات التجفيف والشيخوخة. .
